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InP系单片集成波长分离器件的设计和制作

Design and Fabrication of Integrated Inp-based Wavelength Demultiplexer

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【作者】 吕章德； 杨易； 王惠民；

【Author】 Lu Zhang-de~* Yang Yi~(**) Wang Hui-ming~(**) * Department of Physics,Shaoxing Colege of Arts and Sciences,Shaoxing 312000 (**) Shanghai Institute of Metallurgy,Academia Siniea,Shanghai 200233

【机构】 绍兴文理学院物理系； 中科院上海冶金研究所； 中科院上海冶金研究所 312000 绍兴； 200233 上海；

【摘要】 设计和制作了 InP/InGaAsP 单输入光波导,多输出光波导,和光栅的单片集成波长分离器件,文中给出了器件的设计参数,以及制作工艺,并给出了该器件的测试原理图。

【Abstract】 The article reports a method of designing and fabricating a integrated Inp- based wavelength demultiplexer.This device is composed of a single input waveguide,multi- ple output waveguides,and a concaved grating.The device design parameters and fabrication technique are described.The device test setup is also represented.

【关键词】 波分复用； InP/InGaAsP； 光栅；
【Key words】 Wavelength Demultiplexer； InP/InGaAsP； Grating；
  • 【文献出处】 光学仪器 ,Optical Instruments , 编辑部邮箱 ,1997年Z1期
  • 【分类号】TN929.1
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