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含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定
Evaluation on Graduation Error of Radial Gratings with Middle Periodic Error
【摘要】 介绍了圆光栅的中周期误差产生的主要原因、检测方法以及评定带有中周期误差的圆光栅刻划误差的两种方法。
【Abstract】 The main reason of middle period errors occuring on radial gratings is discussed,and the methods of measure and evaluation on them are also introduced in this paper.
【关键词】 圆光栅；
周期性误差；
刻划误差检测；
【Key words】 Radial gratings； Periodic error； Measure of graduation errors；
【Key words】 Radial gratings； Periodic error； Measure of graduation errors；
- 【文献出处】 光学精密工程 ,OPTICS AND PRECISION ENGINEERING , 编辑部邮箱 ,1997年03期
- 【分类号】TG83
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