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用于强流离子注入的气体—金属弧离子注入机

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【作者】 黄拿灿； 黎炳雄； 胡社军； 黄小平； 谢光荣；

【机构】 广东工业大学； 广东工业大学 广州 510643； 广州 510643； 广州 510643；

【摘要】 本文介绍了新型的TITAN离子注入系统的结构、特点及工作原理。TITAN源设计思想新颖,是DENNING源与MEVVA源的有机结合,它能给出气体离子,也能给出金属和气体的混合离子,在金属材料改性方面具有潜在的应用前景。笔者对该系统的技术特性及优缺点进行了评述。

【关键词】 离子注入； 强流； 材料改性； 气体放电； 系统的结构； 离子源； 工作原理； 冷阴极； 阴极表面； 脉冲频率；
  • 【文献出处】 国外金属热处理 ,Heat Treament of Metals Abroad , 编辑部邮箱 ,1997年05期
  • 【分类号】TG174.4
  • 【被引频次】3
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