底电极对PLT铁电薄膜结构与电性能的影响

【摘要】 用Ｘ射线衍射和扫描电镜对不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极的物相与形貌进行了分析。用金属有机化合物热分解法通过多次匀胶，制备了０．７２～０．８７μｍ厚的ＰＬＴ铁电薄膜。并对其形貌、相结构、介电和铁电性能与直流电阻特性进行对比研究，结果表明：不同厚度Ｔｉ的Ｐｔ／Ｔｉ电极对ＰＬＴ铁电薄膜的各种性能有明显的影响。在５５０℃保温６０ｍｉｎ的样品，１ｋＨｚ时介电常在在５００～５８０之间，介电报耗正切不大于２％，随Ｔｉ层厚度的增加，介电常数有增大的趋势，剩余极化强度Ｐ在６．３２～７．６１μＣ／ｃｍ２，矫顽场强Ｅ在６８．９～８３．７ｋＶ／ｃｍ。晶粒随Ｔｉ层的增加由１．５μｍ减小到０．９μｍ，有Ｔｉ层的漏电流比无Ｔｉ居的漏电流小，漏电流的大小与薄膜的缺陷有关。更多还原