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ITO导电薄膜的用途和制备方法
【摘要】 本文综述了ITO薄膜的应用领域和制备工艺。ITO薄膜主要用于光电器件中,例如用于液晶显示(LCD)。制造ITO薄膜的工艺方法很多,本文综述了磁控溅射法、CVD法、喷雾热分解法和溶胶—凝胶法4种制膜工艺。
【基金】 国家“九五”科技攻关项目
- 【文献出处】 粉末冶金材料科学与工程 ,Materials Science and Engineering of Powder Metallargy , 编辑部邮箱 ,1997年01期
- 【分类号】TN304
- 【被引频次】9
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