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纳米级二维激光外差干涉仪的设计

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【作者】 陈晓梅； 曹航； 周自力； 亓爱会；

【机构】 长城计量测试技术研究所；

【摘要】 纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会（长城计量测试技术研究所北京１０００９５）本文提出的一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目，而预先研究的关键技术之一，即激光外差干涉测量仪...

【关键词】 干涉仪； 干涉测量； 计量测试技术； 光外差； 陈晓； 参考光束； 测量范围； 扫描隧道显微镜； 不确定度； 原子力显微镜；
  • 【文献出处】 大连理工大学学报 ,JOURNAL OF DALIAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年S2期
  • 【分类号】TH744.3
  • 【被引频次】2
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