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一种高熔点金属涂层的制备方法

A NEW FABRICATION METHOD OF HIGH MELTING POINT METAL COATING

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【作者】 唐宾何家文王从曾徐重

【Author】 TANG Bin; HE Jiawen; WANG Congzen; XU Zhong (Xi’an Jiaotong University) (Taiyuan Polytechnic University)

【机构】 西安交通大学太原工业大学

【摘要】 研制了一种由多个空心阴极并列组合而成的,可直接作为溅射靶的多重空心阴极溅射靶,其溅射输出量可用电压、气压及空心阴极的高度和宽度比控制由W、Mo合金制成的多重空心阴极溅射靶所做的合金涂镀试验表明,这种方法涂层沉积速度快,涂层致密并与基体结合良好,适用于多种金属或其合金的溅射沉积,尤其是高熔点金属的溅射沉积.

【Abstract】 A new multiple hollow cathode sputtering target, which has a simple structure and a high sputtering rate,was put forward. The sputtering rate can be controlled by changing target voltage, pressure and H. D-1. The result shows that this method has a high deposition rate and the coating has a high binding strength.This method is suitable for many metals or thier alloys as the target and extensively for high-melting point metals or their alloys.

【关键词】 空心阴极溅射镀膜
【Key words】 hollow cathode sputtering coating
【基金】 国家自然科学基金!19392300-5
  • 【文献出处】 材料研究学报 ,CHINESE JOURNAL OF MATERIAL RESEARCH , 编辑部邮箱 ,1997年02期
  • 【分类号】TG17
  • 【被引频次】1
  • 【下载频次】63
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