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差动式电容加速度传感器

Development of a Differential Capacitance Transducer

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【作者】 栾云； 唐旭晖； 吴朝霞； 李志全；

【Author】 Luan Yun; Tang Xuhui; Wu Zhaoxia; Li Zhiquan (Department of Electricity Engineering, Yanshao University, Qinhuangtao 066004)

【机构】 燕山大学电器工程学院!秦皇岛； 066004；

【摘要】 对差动式电容加速度传感器的工作原理和误差来源进行了分析和讨论，为设计制造此种加速度传感器提供了理论依据．

【Abstract】 The principle of the differential capacitance accelerometer and the cause of its operation errors are analyzed and discussed in detail in order to offer a theoretical basis for developing this accelerometer.

【关键词】 差动式电容； 加速度传感器； 准静态； 脉冲调制；
【Key words】 Differential capacitance； Accelerometer； Quasi-static PPM；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年06期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】12
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