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以LaF3为基材的室温氧传感器初探

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【作者】 刘志钢； 张玉英； 牛文成；

【机构】 南开大学光电子所； 南开大学电子科学系；

【摘要】 <正>固态氧敏传感器采用Si/LaF3/Pt场效应结构（[1.2]）,因老化使长期稳定性变差.为此本文讨论了四方面内容:1.固体电解质膜LaF3的制备;2.对LaF3膜退火多晶化处理,以及表面特性的改善措施;3.有关LaF3膜退火多晶化及活化处理技术参数;4.传感器特性的研究.并对这种室温氧传感器用做生物传感器的可能性也作了讨论.

【关键词】 氧传感器； LaF3； 传感器特性； 生物传感器； 固态氧； 晶化处理； 活化处理； 场效应； 电解质膜； 热蒸发；
【基金】 国家自然科学基金项目
  • 【文献出处】 传感技术学报 ,Journal of Transcluction Technology , 编辑部邮箱 ,1997年03期
  • 【分类号】TP212
  • 【被引频次】3
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