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单室圆柱靶磁控溅射镀膜机技改的尝试

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【作者】 周萍；

【机构】 秦皇岛玻璃工业研究设计院；

【摘要】 针对当前国产的单圆柱靶磁控溅射镀膜机存在的问题，进行六项改造，使产品性能得到显著提高。整块玻璃的膜层厚度比较均匀，色差小，成品率也提高了。

【关键词】 单室圆柱靶磁控溅射镀膜机； 膜层厚度； 色差； 成品率； 技改；
  • 【分类号】TQ171.68
  • 【被引频次】3
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