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智能介质膜厚度测试仪的研制

A Smart Tester of Dielectric Film Thickness

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【作者】 李文臣阎强韩华英秦世才

【机构】 南开大学电子科学系

【摘要】 本文研制的智能测试仪能直接读出金属表面所镀介质膜的厚度,文中介绍了测量原理和仪器结构

【Abstract】 This paper introduces a smart tester which can display the thickness of dielectric film coated on metal surface. The operation principle and structure of the instrument are described in this paper.

【关键词】 介质膜厚度测量
【Key words】 Dielectric filmThickness measurement
  • 【分类号】O484.5
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