半导体电容型气敏元件的研究

【摘要】 <正> 利用半导体化合物制作气敏元件,近年来研究得较为活跃。但是多数是基于半导体气敏材料在与气体接触时,伴随表面吸附或化学反应,导致其电性能特别是电阻特性的变化来检测气体浓度。本人研究了一种新型的半导体气敏元件,利用半导体器件的电容特性的改变,用于检测目前较难检测的CO₂气体的浓度,并获得了具备一定电容变化的敏感性半导体材料。用机械掺杂方法制备、两种不同导电类型的纳米级的半导体粉末BaTiO₃与CuO,两者经压制、烧结后,涂覆导电银浆,引出Pt线,制成半导体电容器件。考察该器件在一定温度,测试交流频率下对低浓度CO₂气体的灵敏性,结果表明.其电容大小随CO₂浓度变化更多还原