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原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术

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【作者】 何德湛； 郑宜波； 张敏；

【机构】 中国科学院上海冶金研究所微电子学分部；

【摘要】 首先简介原子力显微镜（ＡＦＭ）的特点，然后叙述阳极键合技术的原理，以及此技术在微探针制造中的应用，最后给出该技术在ＣＭＯＳ新的ＳＯＩ结构中的应用

【关键词】 原子力显微镜； 微探针； 键合技术；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年02期
  • 【分类号】TN2
  • 【被引频次】4
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