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SiGe/SiHBT制造中干法、湿法腐蚀技术的研究

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【作者】 邹德恕； 陈建新； 袁颖； 董欣； 高国； 沈光地；

【机构】 北京工业大学；

【摘要】 介绍了对ＳｉＧｅ／Ｓｉ材料干法、湿法腐蚀的机理、腐蚀方法、影响腐蚀的主要因素，以及其在制造异质结晶体管中的应用

【关键词】 硅锗合金； 干法腐蚀； 湿法腐蚀； 异质结晶体管； 微电子技术；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1997年01期
  • 【分类号】TN405
  • 【被引频次】1
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