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低压压电陶瓷相移器及其在电子散斑干涉计量中的应用

Low-voltage piezoelectric ceramic phase modulator and its application in ESPI

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【作者】 任雅萍； 姜力军； 张弛； 范华； 骆德渊； 谭玉山；

【Author】 REN Yaping JING Lijun ZHANG Chi FAN Hua LUO Deyuan TAN Yushan (Xi’an Jiaotong University,Xi’an 710049,CHN)

【机构】 西安交通大学；

【摘要】 介绍了一种新型低压压电陶瓷相移器及其驱动电路的原理、结构和标定方法，并简述了它在电子散斑干涉计量（ＥＳＰＩ）中的应用。

【Abstract】 A novel low-voltage piezoelectric ceramic phase modulator and its driving circuit are introduced.The principle,structure and calibrating method are discussed and its application in ESPI is presented.

【关键词】 相移器； 压电陶瓷； 电子散斑干涉计量；
【Key words】 Phase-shifting； Piezoelectric Ceramics； ESPI；
【基金】 国家“产学研联合工程”科研基金
  • 【文献出处】 半导体光电 ,SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1997年05期
  • 【分类号】TN304.9
  • 【被引频次】3
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