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实时数字散斑干涉仪及其应用

Real-time digital speckle pattern interferometer and its applications

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【作者】 任雅萍； 骆德渊； 姜力军； 赵明涛； 张弛； 谭玉山；

【Author】 REN Yaping LUO Deyuan JIANG Lijun ZHAO Mingtao ZHANG Chi TAN Yushan (Xi’an Jiaotong University,Xi’an 710049,CHN)

【机构】 西安交通大学；

【摘要】 介绍了一种用于工程的多功能数字散斑干涉仪的测量原理、系统结构和设计特点，并给出了测量结果

【Abstract】 A real-time digital speckle pattern interferometer (DSPI) is introduced.Principle of measurement for the interferometer is discussed as well as its structure and design features .And measured results are given.

【关键词】 数字散斑干涉仪； 干涉计量； 实时；
【Key words】 DSPI； Interferometry； Real Time；
【基金】 国家“产学研联合工程”重点项目
  • 【文献出处】 半导体光电 ,SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS , 编辑部邮箱 ,1997年02期
  • 【分类号】TH74
  • 【被引频次】10
  • 【下载频次】109
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