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锑化镓材料表面氧化机理的研究

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【作者】 陈坚邦； 王云春；

【机构】 北京有色金属研究总院；

【摘要】 利用扫描透射电子显微镜、Ｘ射线衍射和Ｘ射线光电子能谱检测了锑化镓晶片表面氧化层的成分和结构，研究了锑化镓材料表面氧化物的形成过程。

【关键词】 锑化镓； 次氯酸钠； 原子氧； 表面氧化；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 稀有金属 ,CHINESE JOURNAL OF RARE METALS , 编辑部邮箱 ,1996年04期
  • 【分类号】TN304.2
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