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SnO2光敏、气敏元件的性能研究

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【作者】 王岚； 何敬文； 王给祥； 刘秀英； 李春鸿；

【机构】 中国科学院长春应用化学研究所!长春130022；

【摘要】 报道了用常压蒸发法制备的SnO2薄膜的光敏性能和用烧结法制备的圆珠状气敏元件的气敏性能。初步探讨了其结构与机理。指出进行集光敏、气敏于一体的传感器的研究。

【关键词】 传感器； 薄膜； 元件； 吸附；
  • 【分类号】TN212
  • 【被引频次】3
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