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短脉冲紫外激光对陶瓷的刻蚀作用

Short-Pulse Ultraviolet Laser Ablation of Ceramic

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【作者】 方晓东； 李广寅； 余吟山；

【Author】 Fang Xiaodong;Li Guangyin;Yu yinshan(Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica, Hefei 230031)

【机构】 中科院安徽光机所；

【摘要】 采用ＫｒＦ准分子激光对ＳｒＴｉＯ３和Ａｌ２Ｏ３陶瓷进行刻蚀。给出了刻蚀速率与激光能量密度的关系，并对实验结果进行了分析。

【Abstract】 KrF excimer laser (248nm) was used to ablation the SrTiO3 and Al2O3 ceramic.The relationship between ablation rate and laser fluence was showed and the experimental results was analyzed.

【关键词】 激光刻蚀； 准分子激光； 陶瓷；
【Key words】 laser ablation； excimer laser； ceramic；
  • 【分类号】TN248.22
  • 【被引频次】1
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