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LIGA技术制作微细金属图形的研究

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【作者】 田扬超； 傅绍军； 洪义磷； 胡一贯；

【机构】 中国科学技术大学国家同步辐射实验室；

【摘要】 本文介绍了用ＬＩＧＡ技术制作微细金属图形的原理及工艺过程，讨论了影响金属图形质量的因素，同时报导了国家同步辐射实验室用ＬＩＧＡ技术研究微细金属图形的结果。

【关键词】 金属层； 图形的； LIGA技术； 光刻胶； 图形质量； 工艺过程； 掩模； 微电子工艺； 三维立体； 颗粒度；
【基金】 国家自然科学（青年）基金
  • 【文献出处】 仪器仪表学报 ,CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT , 编辑部邮箱 ,1996年S1期
  • 【分类号】TN305
  • 【被引频次】8
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