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STM在微加工中的应用

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【作者】 王大文； 白春礼；

【机构】 中国科学院化学研究所!北京100080；

【摘要】 <正>有关STM在表面形貌及电子结构研究方面的应用已有多篇综述文章。实际上,STM不仅可作为表面分析的一种手段用来研究表面性质,它还可作为一种表面加工工具在毫微米级尺度上对各种表面进行刻蚀

【关键词】 电子结构； 表面形貌； 表面分析； 淀积； 微加工； STM； 表面性质； 表面加工； 抗蚀； 单原子；
  • 【文献出处】 现代物理知识 ,Modern Physics , 编辑部邮箱 ,1996年S1期
  • 【分类号】O488
  • 【被引频次】2
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