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智能化接触式干涉仪

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【作者】 陈吉武； 汪伟； 李雁飞； 亓勇；

【机构】 中国计量学院； 浙江大学；

【摘要】 本文叙述了智能化接触式干涉仪的基本原理和方法,即用CCD作为光电转换接收器,代替人眼工作;用单片机自动处理信号,代替手工处理。并分析了这样改进后的仪器精度上不仅未受损失,反而略有提高。

【关键词】 CCD； 干涉仪； 智能；
  • 【文献出处】 上海计量测试 ,Shanghai Measurement and Testing , 编辑部邮箱 ,1996年05期
  • 【分类号】TH74
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