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电子束辅助热丝CVD法在Si（100）衬底上织构生长金刚石薄膜

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【作者】 傅广生； 王晓辉； 于威； 韩理；

【机构】 河北大学物理系；

【摘要】 电子束辅助热丝ＣＶＤ法在Ｓｉ（１００）衬底上织构生长金刚石薄膜傅广生，王晓辉，于威，韩理（河北大学物理系保定０７１００２）织构生长的金刚石薄膜以其优异的光学、半导体和电学性能而具广泛的应用前景，它一直受到众多研究者的关注。由于金刚石与所用的衬底材料（...

【关键词】 金刚石薄膜； CVD法； Si； 热丝； 电学性能； 韩理； 大学物理； 基片温度； 合成金刚石； 定向生长；
  • 【文献出处】 量子电子学 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,1996年05期
  • 【分类号】TN201
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