新世纪之手——微机械

【摘要】 <正> 机械作为人手的延伸,伴随人类渡过了漫长的历程。自18世纪,科学给它安上蒸汽的强大动力之后,引起了一系列工业化革命,推动了社会的飞速发展。进入本世纪后,它又把人类托上蓝天,至本世纪60年代,它与航天技术一起带着人类遨游太空,使人类初步实现了直接探索宏观外部空间的梦想。然而,随着科学和技术的发展,人类希望对微小领域的了解日盛,这就对机械提出了新的、更高的要求。希望它更灵巧、更细小。特别是随着微电子技术及机电一体化的发展,电子部件与机械部件在尺寸上的矛盾日渐突出,使人们从70年更多还原