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金属薄膜形成过程中电导特性变化的有效媒质理论

THE EFFECTIVE MEDIUM THEORY OF THE CONDUCTIVITY CHANGE DURING THE FORMATION OF METAL FILM

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【作者】 曹晓晖； 唐兆麟； 黄荣芳； 闻立时； 师昌绪；

【Author】 CAO Hiaohui; TANG Zhaolin; HUANG Rongfang; WEN Lishi; SHI Changxu (Institute of Metal Research, Chinese Academy, of Sciences, Shenyang 110015)

【机构】 中国科学院金属研究所；

【摘要】 利用有效媒质理论描述了金属薄膜形成过程中电导率变化规律，与实验测得的Ａｌ薄膜形成过程中电导率变化结果比较接近．分析和讨论了一些影响计算结果准确性的因素．

【Abstract】 The calculated results indicated that the effective medium theory is available and convenient for discribing the conductivity of metal film during the film formation. The little difference between the theoretically calculated and experimental results was discussed in detail.

【关键词】 薄膜； 电导率； 有效媒质理论；
【Key words】 aluminium film； conductivity； effective medium theory；
  • 【文献出处】 金属学报 ,ACTA METALLRUGICA SINICA , 编辑部邮箱 ,1996年04期
  • 【分类号】O484.42
  • 【被引频次】13
  • 【下载频次】203
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