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ECR微波等离子体源离子渗氮

Electron Cyclotron Resonance Microwave Plasma Source Ion Nitriding

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【作者】 张仲麟雷明凯袁力江孔常静

【Author】 Zhang Zhonglin;Lei Mingkai;Yuan Lijiang;Kong Changjing

【机构】 大连理工大学

【摘要】 研究了一种新的低温渗氮方法──电子回旋共振(ECR)微波等离子体源离子渗氮。对纯铁、45钢和35CrMo钢试样在150~350℃进行渗氮处理,测定了渗氮层的硬度和晶体结构。结果表明,纯铁在低于200℃的温度下即可获得连续分布的表面氮化物层,35CrMo钢在低于250℃温度处理也可获得良好的渗氮层。

【Abstract】 A new low temperature nitriding approach──"Electron cyclotron Resonance Microwave Plasma Source Ion Nitriding"was inverstigated.Pure iron,45 steel and 35CrMo steel were treated with the nitriding technique and the surface hardness and crystal structure of the nitrided layer have been determined.The experimental results show that a continuous nitride layer could be created on pure iron surface at lower than 200℃ and a hardened layer could be obtained on 35CrMo steel at lower than 250℃with this new technology.

【关键词】 离子渗氮离子注入等离子体源
【Key words】 s:ion nitridingion implantationplasma source
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 金属热处理 ,HEAT TREATMENT OF METALS , 编辑部邮箱 ,1996年10期
  • 【分类号】TG156.82
  • 【被引频次】18
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