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热阴极辉光PACVD金刚石厚膜的生长特性

Layer Growth in Thick Diamond Film Prepared by Hot Cathod Glow Discharge Plasma Asisted Chemical Vapor Deposition

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【Author】 Sun Haiping,Yu San,Jiang Zhigang,Li Dongmei,Liu Lin,Jin Zengsun, Zou Guangtian(National Laboratory of Superhard Meterials,Jinn University, Changchun,130023)

【机构】吉林大学超硬材料国家重点实验室；

【摘要】对用热阴极辉光ＰＡＣＶＤ方法合成的金刚石厚膜，采用扫描电子显微镜进行了观察，研究了金刚石的生长机制．更多还原

【Abstract】 Thick diamond film is prepared by using hot cathod glow discharge plasma assisted chemical vapor deposition and investigated by scanning electron microscopy.The growth mechanism of the diamond is studied.更多还原

【关键词】金刚石厚膜；等离子体辅助化学气相沉积；孪晶；台阶；扫描电镜；
【Key words】 thick diamond film； PACVD； twin crystal； step； SEM；

【文献出处】吉林大学自然科学学报 ,ACTA SCIENTIARIUM NATURALIUM UNIVERSITATIS JILINENSIS , 编辑部邮箱 ,1996年02期

【分类号】O484.1
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