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辉光放电等离子体理论模型的建立
【摘要】 对已建立的辉光放电等离子体理论模型进行了改进,改进后的理论模型仍为自洽的解析式理论模型.对稍长放电间隙,不同工作气压条件下的电子密度分布进行了分析,并与实验结果进行了对照,说明了改进后的理论模型适用范围得到了扩大,与实验结果更为接近.
【基金】 国家自然科学基金资助项目
- 【文献出处】 中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学) ,Science in China,Ser.A , 编辑部邮箱 ,1996年03期
- 【分类号】O536
- 【被引频次】4
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