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含过渡层氧化铝膜的制备
【摘要】 用CVD法在铝表面同时沉积氧化铝和铜,在热扩散的作用下铜铝形成合金,使氧化铝和铝之间存在连续过渡层。这种氧化铝膜在厚度100μm时仍和铝材有良好的结合强度
- 【文献出处】 功能材料 ,JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS , 编辑部邮箱 ,1996年03期
- 【分类号】O484.1
- 【被引频次】4
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【摘要】 用CVD法在铝表面同时沉积氧化铝和铜,在热扩散的作用下铜铝形成合金,使氧化铝和铝之间存在连续过渡层。这种氧化铝膜在厚度100μm时仍和铝材有良好的结合强度