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含过渡层氧化铝膜的制备

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【作者】 魏明坤段明诚王柱

【机构】 武汉工业大学新材料研究所

【摘要】 用CVD法在铝表面同时沉积氧化铝和铜,在热扩散的作用下铜铝形成合金,使氧化铝和铝之间存在连续过渡层。这种氧化铝膜在厚度100μm时仍和铝材有良好的结合强度

【关键词】 过渡层氧化铝CVD膜
  • 【文献出处】 功能材料 ,JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS , 编辑部邮箱 ,1996年03期
  • 【分类号】O484.1
  • 【被引频次】4
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