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在Al2O3衬底上GaN的APMOCVD生长

GROWTH OF GaN BY APMOCVD ON Al2O3

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【作者】 缪国庆元金山朱景义李玉琴洪春荣

【Author】 Miao Guoqing;Yuan Jinshan;Zhu Jingyi;Li Yuqin;Hong Chunrong(Changchun Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences.Changchun 130021)

【机构】 中国科学院长春物理研究所

【摘要】 在Al衬底上GaN的APMOCVD生长缪国庆,元金山,朱景义,李玉琴,洪春荣(中国科学院长春物理研究所,长春130021)含氮回一V族化合物(包括GaN、AIN、InN和GaAIN)是直接带隙半导体材料,它们的禁带宽度可以从1.9eV到6.2...

【Abstract】 GaN has been grown on(0001) Al2O3 substrates by APMOCVD.Carrier concetration of GaN is 2.3×1019cm-3.Hall mobility of GaN is 320 cm2/V·s.The minimum FWHM of (0001) peak of double crystal X-ray diffraction is 12’.The photoluminescennce of GaN has been observed.

  • 【文献出处】 发光学报 ,CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE , 编辑部邮箱 ,1996年02期
  • 【分类号】TN304.0
  • 【下载频次】23
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