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火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征

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【作者】 陶景光； 罗慧倩； 廖兆曙；

【机构】 华中理工大学；

【摘要】 火焰法合成金刚石薄膜的电镜表征陶景光罗慧倩廖兆曙（华中理工大学，武汉４３００７４）金刚石膜由于具有极其优异的性能和广泛的应用，受到国内外的重视。除高温高压人工合成金刚石工艺外，已发展有多种常压气相合成方法，如热丝法、等离子法等。但这些方法大多需要真空...

【关键词】 金刚石薄膜； 火焰法； 合成金刚石； 金刚石膜； 华中理工大学； 热丝； 等离子法； 金刚石颗粒； 衬底温度； 景光；
  • 【文献出处】 电子显微学报 ,JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY , 编辑部邮箱 ,1996年06期
  • 【分类号】TQ164.8
  • 【下载频次】37
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