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Al2O3、ZrO2功能薄膜的性能及制备技术

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【作者】 惠松骁； 周卓华； 许大庆； 赵建生；

【机构】 武汉华中理工大学材料系；

【摘要】 综述了Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２功能薄膜的性能、用途、制备技术及国内外研究概况；展望了其今后的应用前景并提出了需要解决的问题。

【关键词】 功能薄膜； 涂层技术； 氧化物；
  • 【文献出处】 电子工艺技术 ,ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1996年02期
  • 【分类号】TB43
  • 【被引频次】3
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