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固态MO源流量不稳定的原因分析和改进方法

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【作者】 安华；

【机构】 化工部光明化工研究所；

【摘要】 分析了固态ＭＯ源流量不稳定的原因，并设计一种新式ＭＯ源瓶．试验结果表明，固态ＭＯ源充装在新式瓶内，可以保证在外延过程中，ＭＯ源流量稳定和连续供应．

【关键词】 MO源； 封装瓶； 三甲基铟；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES , 编辑部邮箱 ,1996年01期
  • 【分类号】TN304.5
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