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HP5510自动补偿器分辨率分析及提高近一个量级的方法
【摘要】 带有空气、材料温度补偿器ＨＰ５５１０Ａ的激光测量系统中，以材料温度变化对测量、加工精度影响最大。分析了不同情况下ＨＰ５５１０对材料温度的分辨率，指出ＨＰ５５１０在室温偏离国内外公认ＨＰ规定的２０℃恒温条件下，精度与分辨率可提高近一个数量级，并做试验证明了这一点。
【基金】 “Gerber1434光绘机荫罩绘制研究”项目
- 【文献出处】 电子工业专用设备 ,EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING , 编辑部邮箱 ,1996年02期
- 【分类号】TH740.6
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