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在线化学气相淀积法镀硅膜玻璃的理论研究
【摘要】 本文论述了多晶薄膜在玻璃基片上淀积的原理及主要影响因素,阐明了薄膜淀积的总速率是由玻璃基片的表面反应速率和反应剂分子扩散到玻璃表面的扩散速率决定的。硅烷浓度,玻璃板运动速率等因素也是重要影响参数。
- 【文献出处】 玻璃 ,Glass , 编辑部邮箱 ,1996年04期
- 【分类号】TQ171.6
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【摘要】 本文论述了多晶薄膜在玻璃基片上淀积的原理及主要影响因素,阐明了薄膜淀积的总速率是由玻璃基片的表面反应速率和反应剂分子扩散到玻璃表面的扩散速率决定的。硅烷浓度,玻璃板运动速率等因素也是重要影响参数。