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扩展电阻探针在硅材料研究上的应用

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【作者】 李冀东； 施锦行； 佘思明；

【机构】 中南工业大学应用物理与热能工程系；

【摘要】 主要描述了扩展电阻探针在确定硅片电阻率的微区分布、硅片中施主态氧沉淀的微观分布，及经氧外扩散后，硅片表面区中间隙氧分布等方面的应用。

【关键词】 扩展电阻探针； 硅电阻率； 扩展电阻； 氧施主；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY , 编辑部邮箱 ,1996年06期
  • 【分类号】TN304.12
  • 【被引频次】3
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