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灵巧传感器

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【作者】 高金山； 王家桢； 顾利忠；

【机构】 清华大学自动化系；

【摘要】 灵巧传感器清华大学自动化系高金山，王家桢，顾利忠集成传感器和灵巧（Ｓｍａｒｔ）传感器是随着大规模集成电路技术和半导体的精密细微加工及组装等技术的发展，而在８０年代发展起来的新型传感器，它是微处理器高性能化、低成本化的产物．集成传感器的敏感元件（换能元...

【关键词】 敏感元件； 王家桢； 信号处理电路； 性能化； 高金山； 集成电路技术； 电路集成； 标定值； 衬底材料； 低成本化；
  • 【文献出处】 中国仪器仪表 ,CHINA INSTRMENTATION , 编辑部邮箱 ,1995年02期
  • 【分类号】TP212
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