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氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究

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【作者】 文全胜； 潘孝仁； 戴慕仉； 陆元成； 王声乐； 张强基； 张勇； 庞世瑾；

【机构】 华东理工大学物理系!上海200237； 安徽淮北煤炭师范学院物理系； 复旦大学材料科学系!上海200433； 中科院北京真空物理；

【摘要】 利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜，运用多种分析手段（AES，XPS，SEM，XRD等）研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系，解释谱线加宽的基本原因。

【关键词】 纳米薄膜； 俄歇电子能谱； X光电子能谱；
  • 【分类号】TB383
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