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金刚石车削单晶锗平面表面粗糙度扇形分布特征的研究

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【作者】 史国权； 蔡永祥； 于骏一； 马文生； 韩荣久； 黄巍；

【机构】 吉林工业大学机械系； 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室； 中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室 长春 130025； 长春 130025； 长春 130022； 长春 130022；

【摘要】 建立了金刚石车削单晶锗切削力的分布模型,研究了车削单晶锗平面时表面粗糙度呈现扇形区分布特征的成因机制,并进行了实验验证,采用飞切方法加工单晶锗时,可以制得表面粗糙度Ra值为0.007～0.009μm的匀质光滑表面。

【关键词】 单晶锗； 金刚石车削； 表面粗糙度； 扇形分布；
【基金】 应用光学国家重点实验室资助项目
  • 【分类号】TQ163
  • 【被引频次】6
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