太阳能电池基片扩散长度的自动测量系统

【摘要】 <正> 太阳能电池可提供无污染的能源,是一种极有发展前途的半导体器件,它的发展日益受到重视。高质量、大批量生产太阳能电池的技术,也是现代工业激烈竞争的热点之一。而能否迅速准确地测量太阳能电池基片的关键参数——扩散长度,又在太阳能电池生产工艺中起着重要作用。在此介绍一种可用微机控制的太阳能电池基片扩散长度的自动测量方法,它比用分光仪手工测量的方法效率高出几十倍,甚至上百倍;在数分钟内完成过去几天的测试工作。使在生产过程实时查验基片质量成为现实。从而为保证每片太阳能电池的生产质量提供了实际的手段和措施。 德国慕尼黑工业大学工程电子学研究所提出一项测试太阳能电池基片扩散长度的方法,使扩散长度的自动测量有了理论基础,笔者亦参加了这一工作。这个公式为:更多还原