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独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）

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【作者】 李汉广；

【机构】 中南工业大学；

【摘要】 独联体国家的难熔金属氟化物化学气相沉积技术（下）李汉广（中南工业大学长沙４１００８３）３掌握了产品沉积结构的变化规律和优化条件难熔金属氟化物氢还原气相沉积时，可能得到五种类型的沉积结构（图８）：ａ．树脂状结构；ｂ．佳状结构；Ｃ．细晶结构：ｄ．层状结构...

【关键词】 难熔金属； 独联体国家； 气相沉积； 沉积结构； 细晶结构； 层状结构； 中南工业大学； 六氟化钨； 特异性能； 氢还原；
  • 【文献出处】 稀有金属与硬质合金 ,RARE METALS AND CEMENTED CARBIDES , 编辑部邮箱 ,1995年01期
  • 【分类号】TF804.6
  • 【被引频次】11
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