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用相移干涉技术测量表面粗糙度

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【作者】 刘冲； 梁锡昌；

【机构】 重庆大学!630044；

【关键词】 表面粗糙度； 干涉技术； 示值变动性； 轮廓仪； 相位调制； 干涉仪； 干涉显微镜； 评定参数； 干涉场； 自动测量系统；
  • 【文献出处】 机械工艺师 ,Machinery Manufacturing Engineer , 编辑部邮箱 ,1995年11期
  • 【分类号】TG84
  • 【被引频次】4
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