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用MEMORY仿真技术开发光刻伺服驱动器成品样机

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【摘要】 对MEMORY仿真和CPU仿真进行了比较,分析了用MEMORY仿真技术开发光刻伺服驱动器成品样机的优越性,给出了MEMORY仿真器的原理框图,MEMORY仿真的研制及应用于光刻伺服驱动器的开发过程.

【关键词】 MEMORY仿真CPU仿真光刻伺服驱动器
  • 【文献出处】 微型机与应用 ,Microcomputer & Its Applications , 编辑部邮箱 ,1995年04期
  • 【分类号】TP333.4
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