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细晶陶瓷标准缺陷的激光扫描显微镜超声检测

THE MEASUREMENT OFSTANDARD FLAW FOR ULTRASONIC FINE CERAMICS TESTING BY LASER SCANNING MICROSCOPY

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【作者】 Hitoshi DomonMegumi Kobori王红杰

【Author】 Hitoshi Domon Megumi Kobori

【机构】 日本东京工程大学日本东京工程大学

【摘要】 用以确定细晶陶瓷缺陷尺寸的超声标准块的标准缺陷极小,其形状和表面不规则性必须精确测定。激光扫描显微镜能测量标准缺陷的深、宽和表面不规则性。试样表而无须预处理,即可观察到分辨力为0.3μm的标准缺陷三维图象。磁粉检验用的参考缺陷也可用此法测量。在评估确定缺陷尺寸用的标准块和参考块时,激光扫描显微镜是一种很有用的工具。

  • 【文献出处】 无损检测 ,Nondestructive Testing , 编辑部邮箱 ,1995年02期
  • 【分类号】TB553
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