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新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积

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【作者】 郑立荣； 陈逸清； 林成鲁； 邹世昌；

【机构】 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室；

【摘要】 结合自己的工作，介绍了目前国际上新型功能材料与器件研究的热点之一──铁电集成和铁电存贮器的研究开发；报道了用脉冲激光沉积（ＰＬＤ）这种新型成膜技术制备铁电ＰＺＴ薄膜的一些实验结果．

【关键词】 铁电存贮器； 铁电荡膜； 脉冲激光沉积；
  • 【分类号】TP333.32
  • 【被引频次】4
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