节点文献
溅射时氧氩气体比例对YBCO高T_c超导靶表面成分的影响
Effect of the Composition of O2 and Ar on the Surface Constituents of High To YBCO Superconducting Target During Supttering
【摘要】 本文研究了氧氩气体比例对溅射法制备ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜的质量的影响情况，对氧氩气体在１：４和由１：４变为１：７及由１：７变为１：４的情况进行了研究，得到了一些有意义的结果。
【Abstract】 The effect of thd composition of O2 and Ar on the quality of high To YBCO superconducting thin film during the deposition is reported in this paper.
【关键词】 薄膜；
溅射；
表面成分；
特征光谱；
【Key words】 thin film； sputtering； individual persistent line； surface constituents；
【Key words】 thin film； sputtering； individual persistent line； surface constituents；
- 【文献出处】 四川工业学院学报 ,Sichuan University of Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1995年01期
- 【分类号】O511
- 【下载频次】13