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化学气相沉积钽的动力学模型

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【作者】 徐学珍； 许效红； 张长鑫； 杜玮；

【机构】 北京科技大学理化系；

【摘要】 描述了化学气相沉积钽的动力学，推导出低温与高温下两种模型，实验值与理论值吻合较好。

【关键词】 化学气相沉积； 动力学模型； 扩散； 活化能； 钽；
  • 【文献出处】 有色金属(冶炼部分) ,NONFERROUS METALS (EXTRACTIVE METALLURGY) , 编辑部邮箱 ,1995年04期
  • 【分类号】TF841.604
  • 【被引频次】6
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