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离子束增强沉积氮化硅薄膜的超显微硬度
【摘要】 利用测试负荷小于10-2N的UMHT-3型超显微硬度测量仪,测试了不同厚度的离子束增强沉积氮化硅薄膜的硬度。详细讨论了薄膜和基底对硬度测试的影响,并提出了临界负荷的概念。只有当测试负荷小于临界负荷时,才能获得薄膜的真实硬度。对三种不同厚度的氮化硅薄膜,给出了相应的临界负荷值。
【基金】 国家“八六三”计划资助项目,课题代号:863-715-23-06-02
- 【文献出处】 理化检验(物理分册) ,Physical Testing and Chemical Analysis Parta Physical Testing , 编辑部邮箱 ,1995年06期
- 【分类号】O484.2
- 【被引频次】3
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