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对向靶溅射氮化铁梯度薄膜

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【机构】天津大学应用物理学系；清华大学材料科学与工程系；清华大学材料科学与工程系天津300072；天津300072；北京100084；北京100084；

【摘要】 <正>氮化铁薄膜具有优异的磁性能,同时又具有良好的耐腐蚀性,是一种优异的高密度磁记录磁头材料.目前已广泛确认的氮化铁系化合物共有4相,分别是α″-Fe₁₆N₂,γ′-Fe₄N,ε-Fe_xN（2≤x≤3）和ζ-Fe₂N.它们的磁矩和Curie温度随含氮量的增加而降低.Fe₁₆N₂在已发现的磁性材料中具有最高饱和磁通密度（2.8～3.0T）,Fe₄N和Fe_xN（2≤x≤3）则分别为1.7和1.4T,Fe₂N在常温下为非磁性.铁氮化合物随着含氮量的增高,耐腐蚀性越来越好.作为高密更多还原

【关键词】对向靶溅射；氮化铁薄膜；梯度薄膜；磁性；

【基金】国家自然科学基金资助项目

【文献出处】科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1995年09期

【分类号】TB383
【被引频次】5
【下载频次】80

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