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微波等离子体渗氮装置

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【作者】 胡海天； 陈强； 邬钦崇；

【机构】 中国科学院等离子体物理研究所!合肥230031；

【关键词】 微波等离子体； 渗氮层； 微波发生器； 耦合效率； 放电管； 定向耦合器； 矩形波导； 直接耦合； 表面硬度； 渗氮处理；
  • 【文献出处】 金属热处理 ,Heat Treatment of Metals , 编辑部邮箱 ,1995年10期
  • 【分类号】TG155
  • 【被引频次】2
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